等離子清洗（PLASMA）是一種依靠處於“等（děng）離子態”的物質的“活化作用”，來去除物體表麵汙漬的一種清（qīng）洗方法。它（tā）屬於電子工業清洗中的幹法清洗，過程中需要（yào）真空泵製造一定的真空條件滿足清洗所需，東莞市香蕉污视频真空科（kē）技有限公司（sī）來說說旋片真空泵在等離子（zǐ）清（qīng）洗技術中的應（yīng）用過程是（shì）怎麽一回事，以及講解一下旋片真空泵具有什麽特點。

等離（lí）子清洗所需要的等離子體（tǐ）主要通過（guò）特定的氣體分子在真空、放電等特殊場（chǎng）合下產（chǎn）生，像低（dī）壓氣體輝光等離子體。簡單地如（rú）開頭說，等離子清洗需要在真空狀態下進行（一般需保持在100Pa左右），所以（yǐ）需要德國旋片（piàn）真空泵（bèng）進行抽真空作業。

等離（lí）子清洗用旋片真空（kōng）泵的過程是如何（hé）的？

其主要過程包（bāo）括：首先將（jiāng）需要清洗的（de）工件（jiàn）送入真（zhēn）空室固（gù）定，啟動旋片真空泵等裝（zhuāng）置開始抽真空（kōng）排氣到10Pa左右的（de）真空度；接著向真空室引入等離（lí）子清（qīng）洗用的氣體（根據清洗材質的不同，選用的氣（qì）體也不同，如氧氣（qì）、氫氣、氬氣、氮氣等），並將壓力（lì）保持在（zài）100Pa左右；在真空室內的電極與接地裝置之間施加（jiā）高頻電壓，使氣體被擊穿，並通過輝光放電使其發生離子化，產生等離子體；在真空室內產（chǎn）生的等離子體（tǐ）完全覆蓋被清（qīng）洗工件後，開始清（qīng）洗作業，清洗過程會持（chí）續幾（jǐ）十秒到幾分鍾。整個過（guò）程就是（shì）依靠等離子體在電磁（cí）場內（nèi）空間運動，並轟擊被處理物體表麵，從而（ér）達到表麵處理、清洗和刻蝕的效果（清洗過程某種程度就是輕微的蝕（shí）刻工藝）；清洗完畢後，排出汽（qì）化的汙垢及清洗氣體，同時向真空室內送入空氣恢複至正常大氣壓。

清洗過程中，在（zài）旋片真（zhēn）空泵控（kòng）製真空室的真空環境時，氣體的流量決定了發光色度：如果色度較（jiào）重，說明真（zhēn）空度低，氣體流量較大；而偏白時，則是真空度過高，氣體流量較小；具體需要根（gēn）據所需的處理（lǐ）效果，來確（què）定真空泵要實（shí）現的真空度（dù）。

等離子清洗技（jì）術不（bú）分處理對象的基材類型，對金屬、半導體、氧化（huà）物和（hé）大多數高分（fèn）子材料（如聚丙烯（xī）、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷（wán）、環氧、甚至聚四（sì）氟乙烯）等原基（jī）材料（liào）都能很好處理，並可實現整體和局部以及複雜結構的清（qīng）洗，還具備環保、安全、易控製等優勢，因此在很多方麵，尤其是精密件清洗、新（xīn）半導體材料（liào）研（yán）究（jiū）以及（jí）集成電（diàn）路（lù）器件製造業中逐漸（jiàn）取代了濕法（fǎ）清洗（xǐ）工藝。

香蕉污视频旋片（piàn）真空泵在等離子清洗技術（shù）中的應用同國（guó）內同類其他產（chǎn）品相比的（de）優點：

1.使用（yòng）方便，安裝，維護簡單；

2.旋片真空泵設有氣鎮（zhèn）閥，可抽除少量水蒸氣；

3.旋片真（zhēn）空泵的極限真空度高；

4.內裝強製進油，潤滑充分，性（xìng）能可靠；

5.設（shè）有自動防返油雙重保險裝置（zhì）；

6.保持進（jìn）氣壓強為1.33×10Pa時仍可（kě）連續運轉；

7.不漏油、不噴油、不汙染工作（zuò）環境。