氦質譜檢漏技術（shù）是真空檢漏領域裏不可缺少的一種技術，由於檢漏效率高，簡便易操作（zuò），儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣（qì）體的幹擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜（pǔ）檢漏儀的真空係統是由哪些設備（bèi）組合而成的呢？氦（hài）質譜檢漏儀的分類和正確的保養方法都是（shì）本篇文章重點介（jiè）紹（shào）的內容，當然，還要給大家闡述下真空係統在氦質譜檢漏儀中的應用情況。

氮質譜檢漏儀是（shì）用氦氣為（wéi）示漏氣體的專門用於檢漏的儀器，由離子源、分析器、收集器（qì）、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣係統及電氣部分等組成。其分類有：①單級磁偏轉型氦質（zhì）譜檢漏儀，②雙級串聯磁偏轉型氦質譜檢漏儀，③逆流氦質譜檢漏儀這三種。

氦質譜檢漏儀的（de）優勢特點

1.采用便（biàn）攜式設計

2.設備外型美觀小（xiǎo）巧

3.采用（yòng）液晶觸摸屏設計

4.有通訊接口

5.可以方便地將檢漏（lòu）數據輸出

關於真空係統在氦質譜檢漏儀中的應用情況，由東莞市香蕉污视频真空科技有限公（gōng）司進行整（zhěng）理。

氦（hài）質譜檢漏（lòu）儀的真空係統部分由分子（zǐ）泵、前級機械泵組成。

香蕉污视频真空係統（tǒng）的特點為：

1.低（dī）噪音、低振動。

2.空氣冷卻，方（fāng）便容易。

3.在高溫環境下仍良好運作。

4.在低真空壓力下仍保持良好抽氣速度（dù）。

5.內置濾（lǜ）心和過濾器，可達高度過濾效果（guǒ）。

6.內置單（dān）向閥門，防止真空油逆（nì）流。

7.結構簡單，體積小，節省空間。

8.多功能概念，可配合客戶的特別配置。

9.容易保養（yǎng）。

在常（cháng）規檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空（kōng）度達到一定壓（yā）力後，再進入真空係統部分；被檢件在檢測前會被要（yào）求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物（wù）等汙染物進（jìn）入真空係統（tǒng）；否則將直接汙染（rǎn）真空係統，甚至造成（chéng）真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對設備自身定期（qī）的保（bǎo）養清理尤為重要（yào）。

設（shè）備自（zì）身保養（yǎng）小知識

（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；

（2）電磁閥組的超聲清洗；

（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分（fèn）子（zǐ）泵的定期保養維護。

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